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                减震台:负刚々度低频隔振技术

                作者:至一科技 日期:2018-09-19 点击:6025118
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                减震台:负刚度低频隔振技术


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                图1:减震台在小型AFM上的运用

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                图2:减震台在激光◆电子领域的运用


                负刚度隔振台工作原理

                       Minusk负刚度隔振台在低频隔振采用了革命性的设计理念。垂直运动隔振由承载负荷的刚性弹簧结合负刚度机构NSM提供。在不影响弹簧静载荷支撑能力的情∮况下,净√垂直刚度很低。与垂直运动隔振器串联连接的梁柱提供水平运动隔振。梁柱的水平刚度随着梁柱效应的减▃小而减小。(梁柱表现为弹簧结合NSM。)结果是一种紧凑的╱被动隔振台,能够非常低的垂直和水平固有频率和非常高的内部结构频率。


                       Munisk负刚度隔振台通常是使用三个串联的隔振器:倾斜运动隔振器在水平运动隔振器的顶部,水平隔振器在垂直隔振器的顶部。垂直运动隔振器如图1所示,它使用∏一个传统的弹簧,连接到一个Ψ由两个弯曲件组成的NSM上,两个弯曲件在它们的内端连接到弹簧上,并在它们的外端被支撑,并且通过力↘P被压缩加载。弹簧被重量W压缩,在隔振台的工作位置上,如图1所示。隔振台的刚度是K=KS-KN,其中KS是弹簧刚度,KN是负刚度的大小,负刚度是挠◣曲和载荷P设计的函数。当弹簧支撑重量W时,可以使↑隔振器的刚度趋于零。


                         由两个梁柱隔离器ζ组成的水平运动隔离系统如图2所示。每个隔振器的性能ㄨ类似于两个由重量载荷W轴向加载的固定自由梁柱。没有重量载荷,梁柱具有水平刚卐度KS。在重载作用下,梁柱效应使侧向弯曲刚度减小。这种特性等效于水平弹簧与NSM的结合,使得水平刚度为K=KS-KN,KN是梁柱效应的大小。通过加载梁柱以逼近其临界屈曲载荷,可以使水平刚度接近于零。


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                图1图2


                         图3示出了包含图1和2的隔离器的负刚度隔振台的示意图。倾斜垫用作倾斜运动隔离器。垂直刚度调整螺钉用于调整负刚度挠曲上的压缩力,从而改变垂直刚度。垂直★载荷调整螺钉用于通过升高或降低支◢撑弹簧的底座来调整不同的重量载荷,以保持挠曲处于其直的、未弯曲的操作位置。该①特性可以在单个隔离器系统中自动实现,并在多个隔离器系统中实现自动调平。


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                图3


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                图4:减震台在显微镜上的运用

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                图5:减震台在分析天平上的运用

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                图6:减震台在大◆型SEM上的运用



                至一科技(To One Technology)主营精密设备仪器(显微镜、原子力显微镜、电子显微镜、半导体设备、激光设备)隔振台、主动隔振台;电镜、FIB系统、Dual Beam设备、核磁共振设√备主动消磁系统.....

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                ArisTT显微镜主动隔振台.jpgJEOL电镜主动减震台.jpg
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