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                扫描电子显微镜SEM专用主动隔振台

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                扫描电子显微镜SEM专用主动隔振台

                KNS ArisMD主动隔振台


                简介:专为扫描电子显微镜设计的主动隔振台,由多个ArisMD主动隔振模◎块构成,独立模块,分布式控制。


                用途:用于消除或降低地表附近震动源产生的震动,从而消除或减少由于地表震动(包括附近建筑和设备@所产生的震动)传导入SEM扫描电子显微镜而引起的震动干扰,保证扫描电子显微镜SEM的运行环境和工作状态。


                技术规格:

                主动隔振ξ 频率:0.5~100Hz

                主动隔振自由度: 6个自由度

                震动响应时间:<=0.1Sec

                隔振性能:8dB gain on 1Hz (60%~70% @ 1Hz); 20dB gain on 2Hz(>=90% @ 2Hz)

                主动隔振模块尺寸:230mmX270mmX75mm

                承载重量:由主动隔振模块数量决定


                主要优势:

                高性能,低成本

                结构紧凑,安装简易,可直接集成到扫描电镜底部框架

                安装成本低,安装时间短(3~5h),安装后无需再调校扫描电子显微镜

                独有的实时性能检查工具、实时性能调整工具

                独有的远程服务工具


                电子显微镜主动隔振台.jpg扫描电子显微镜SEM主动减震台.jpg透射电子显微镜TEM主动防震台.png
                FEI电子显微机ing主动隔振台.jpgZeiss蔡司电子显微镜主动减震台.jpg日本电子JEOL电镜主动防震台.jpg