黑马计划

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                客服热线:18680281884

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                To One气浮隔振光学平台(科研级)

                适合︻于高倍数电子显微镜、扫描♂探针显微镜、激光干涉∏仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

                名称:To One气浮隔震光学平『台
                可在线通过咨询了解详情
                 
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                To One气浮隔震光学平台


                To One气浮隔震光学平台.png

                 

                 

                ZI-QF 科研气浮隔№振光学平台(科研级)

                应用领域: 

                适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

                 

                产品特点: 

                公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气◣浮隔振光学平台。 

                优异的※隔振性能:内置精密空◥气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别★是垂直方向有⊙着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设◣备使用精度和使用效率。 

                自动调节水平功能:放置负载的〓位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动∑保持水平。气动元器↙件全部执行德国 FESTO 产品,标配进口无油压缩机。 

                台板采用蜂窝芯夹板结△构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨●处理,平面度高,回旋打磨工艺㊣清除毛边,达到无反射、亚光效果, 面板具有M6螺纹孔阵列,易于固定光学元件。 

                隔振支撑为优质钢〒管焊接而成,整体坚固稳定。 

                工作压力为 0.35~0.6Mpa,标准配置ξ 调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工■作,用户只需要将气管连接进气口,就能使◥装置正常发挥隔振功能,气源可通※过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。


                技术指标

                平面度:< 0.05mm/m2

                ◆M6螺纹孔/孔间距 25X25mm
                表面粗糙度:< 0.8μm
                固有频率:X方向:1.0Hz~1.5HzY方向:1.0Hz~1.5Hz
                减振效率:X方向< 5Hz :88%~94% Y方向<5Hz :86%~92%

                            X方向<10Hz:92%~98% Y方向<10Hz:90%~95% 

                振幅:< 1μm 

                荷载能力:800kg/m2 

                重复定位精度:±0.05mm 

                 

                产品型号:(可根据客户要求定制不同↘尺寸)

                 

                型号

                规格(mm

                支撑数量

                面板厚度

                台面厚度

                螺纹孔/孔距

                ZI-QF-06-06

                600x600x800

                4

                6mm

                50mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-075-075

                750x750x800

                4

                6mm

                50mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-09-06

                900x600x800

                4

                6mm

                100mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-10-08

                1000x800x800

                4

                6mm

                100mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-12-08

                1200x800x800

                4

                6mm

                100mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-12-09

                1200x900x800

                4

                6mm

                100mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-15-09

                1500x900x800

                4

                6mm

                100mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-16-10

                1600x1000x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-15-12

                1500x1200x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-18-10

                1800x1000x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-18-12

                1800x1200x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-20-10

                2000x1000x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-20-12

                2000x1200x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-24-12

                2400x1200x800

                4

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-30-12

                3000x1200x800

                6

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-30-15

                3000x1500x800

                6

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-35-15

                3500x1500x800

                6

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-40-15

                4000x1500x800

                6

                8mm

                200mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-50-15

                5000x1500x800

                10

                10mm

                300mm

                M6/25X25mm

                ZI-QF-60-15

                6000x1500x800

                12

                10mm

                300mm

                M6/25X25mm

                 

                实际安装案例:

                To One气浮隔震光学平台安装Ψ 案例1.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例2.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例3.png


                至一科技主动主动隔震系统,桌上▲型主动隔震台,桌上ξ型被动隔震台,桌上√型气浮隔震台,被动减震器......

                广泛应用于电子显微镜、显微镜、半导体设备(光刻机、晶ζ 圆测试仪)、激光设备、原子力显微镜、干涉仪、轮廓仪等等

                ArisMD主动隔震系统安装◇案例.png
                图1:ArisMD主动隔震系统安『装案例(主要应用于电子显微镜、半导体设备)
                ArisTT主动隔震〓台安装案例.png
                图2:ArisTT主动隔震台安装案例(主要应用于AFM、干涉仪、桌上型∩电镜)
                SotoTT被动隔▅震台安装案例.png
                图3:SotoTT被动隔震台安装案例(主要应用于显微镜、电子天平、激光设备、半导体测试测试设备)

                欢迎新老客户咨询